八氟丙烷
化學(xué)式:C3F8
純度規(guī)格:5N5
用途:清洗、刻蝕
主要應(yīng)用領(lǐng)域:集成電路(LOGIC/DRAM/3D NAND)
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產(chǎn)品詳情
八氟環(huán)丁烷、八氟丙烷、六氟乙烷等高純碳氟類氣體,純度均可達5N,主要應(yīng)用于大規(guī)模集成電路制造領(lǐng)域的等離子刻蝕和清洗工藝。
以品質(zhì)為基石,開拓全球市場
目前,派瑞特氣公司擁有單條年產(chǎn)能超過3000噸的高純?nèi)獨怏w生產(chǎn)線,擁有高純六氟化鎢規(guī)模化生產(chǎn)線,擁有三氟甲磺酸系列產(chǎn)品研發(fā)生產(chǎn)基地,建設(shè)了高純鎢制品中試生產(chǎn)線,實現(xiàn)了企業(yè)大宗制氣的技術(shù)突破,已成為國內(nèi)特氣行業(yè)產(chǎn)品系列豐富、生產(chǎn)能力大、市場覆蓋面和占有率高、持續(xù)創(chuàng)新能力強的企業(yè)。
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推薦產(chǎn)品
公司主要從事電子特種氣體及三氟甲磺酸系列產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售,主要產(chǎn)品包括高純?nèi)?、高純六氟化鎢、高純氯化氫、高純氟化氫、高純四氟化硅、高純氘氣、高純六氟丁二烯、高純八氟環(huán)丁烷、高純電子混合氣等電子特種氣體,以及三氟甲磺酸、三氟甲磺酸酐、雙(三氟甲磺酰)亞胺鋰等含氟新材料。
純度規(guī)格:6N
用途:刻蝕、退火、光刻等
主要應(yīng)用領(lǐng)域:集成電路(LOGIC/DRAM/3D NAND)、顯示面板、光纖